
Konu : Parlatma
Kaynak : www.memc.com
Açıklama: En son yapılan parlatma ve temizleme işlemleri, dilimlerin, yarıiletken aygıt üretimi için gerekli olan süper düz ve ayna gibi yüzeylere sahip olmaları için zorunludur. Bu işlemde kimyasal ve mekanik parlatma süreçleri ve özel üretim cilalar kullanılmaktadır.