Konu : Yüzey İnceleme
Kaynak : www.memc.com
Açıklama: Uygunluk onayı için dilimler, en son parçacık belirleme aygıtları ile tümüyle incelenir. Bu aygıtlar, dilim yüzeyini bir laser ışını ile tararlar. Yüzeyde kalmış olan parçacıklar laser ışınını saçacağından, yansımanın ölçülmesi ile parçacıkların yer, büyüklük ve miktarı belirlenmiş olur.
